Vlastnosti produktu
Podpora více verzí (PLC/PC) a různých běžných komunikačních protokolů;
Návrh a výroba prováděna v souladu s bezpečnostním výrobním standardem SEMI;
Vysoká kapacita návrhu kanálu, UPH400 ~ 550ks;
Vhodné pro více rozměrů produktů a zásobníků;
Patentovaná konstrukce na úrovni destiček MFC, která zabraňuje úniku plynu způsobující bezpečnostní nehody (podporuje vysoce-rizikové plyny, jako je vodík);
Patentovaná konstrukce vysoké těsnicí komory, až 5pa;
Úhel kontaktu s vodou<10° (related to the material of product surface);
Návrh čtyř kanálů pro současné zpracování 4 produktů, s duálními spodními elektrodami, zkracující čas pro vstup a výstup desky, výrazně zlepšuje efektivitu a zajišťuje jednotnost produktu při zpracování.
technické specifikace
|
Funkční konfigurace |
Technické parametry |
|
|
D׊×V(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Zařízení |
Čistá hmotnost (kg) |
1000 |
|
Obvodová vůle (mm) |
600 vzadu, 600 na obou stranách |
|
|
Komora |
Objem (L) |
Asi 9 |
|
Kanál (č.) |
4 |
|
|
Spodní elektroda (ks) |
2 (přechodová funkce) |
|
|
Režim krmení |
Časopis |
|
|
Adaptivní rozměr produktu (mm) |
Šířka:40-100 Délka:150-300 |
|
|
Elektroda |
Rozměr elektrody (mm) |
528×300 |
|
RF napájecí zdroj |
Standardní výkon (kW) |
1 |
|
Frekvence (MHZ) |
13.56 |
|
|
Ovládání plynu |
Až tři kanály |
2 kanály (standardní), 3 kanály (volitelné) |
|
Řídící systém |
Rozhraní člověk-stroj |
PC + dotykový displej |
|
Vzdálené rozhraní |
Sdělení |
Volitelný |
|
Vývěva |
Volitelné suché čerpadlo |
17CFM |
|
Volitelné olejové čerpadlo |
195 CFM |
|
|
Volitelné suché čerpadlo s funkcí čištění |
ANO |
|
|
Průtok čištění dusíkem (SLM) |
2 |
|
|
Doba vysávání (S) |
10月15日 |
|
|
Doba vakuového přerušení (S) |
3-4 |
|
|
Tovární zařízení |
Napájení |
Třífázový-380V50/60Hz 4,5kW (olejové čerpadlo) |
|
Rozměr a typ procesu |
1/4 palce Swagelok |
|
|
Čistota procesního plynu |
Průmyslová třída a vyšší |
|
|
Tlak procesního plynu (psig) |
10-20 |
|
|
Rozměr a typ proplachovacího plynovodu |
1/4 palce Swagelok |
|
|
Čistota čisticího plynu |
Průmyslová třída a vyšší |
|
|
Tlak čisticího plynu (psig) |
15 |
|
|
Rozměr a typ pneumatického |
10mm zasouvací-tvarovka |
|
|
Čistota pneumatického plynu |
Stlačený vzduch, bez oleje-, rosný bod Menší nebo roven 7 stupňům, částice<5 |
|
|
Tlak pneumatického plynu (psig) |
70-90 |
|
|
stlačený vzduch (mm) |
∅8 |
|
|
Dodržování |
Osvědčení |
SEMI |
|
Doplňkové vybavení |
Generátor dusíku (volitelně) |
Volitelně pro čištění dusíkem |
|
Vodní chladič (volitelně) |
Volitelné pro chlazení elektrod |
|
|
Vodíková sada (volitelně) |
Volitelné pro úpravu vodíkem |
|
|
Procesor výfukových plynů (volitelně) |
Volitelně pro úpravu výfukových plynů fluorem |
|
|
Přeprava |
Celková hmotnost (kg) |
1050 |
|
Počet balení |
1 |
|
|
Balení v souladu se standardem SPM15 |
ANO |
|
Populární Tagy: VP-10S automatický vakuový plazmový léčebný systém, VP-10S automatický vakuový plazmový léčebný systém